力集泓光电科技(南通)有限公司黎弈夆获国家专利权
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龙图腾网获悉力集泓光电科技(南通)有限公司申请的专利一种晶圆移载结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222995371U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422173424.X,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆移载结构是由黎弈夆;杨志伟;吴钰斌;王钰阳;沙建林设计研发完成,并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆移载结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆移载结构。包括一水平固定架,一移动托盘,一驱动结构,本专利中在水平固定架上设置两个上料架,配合驱动结构驱动的移动托盘升降或水平移动,可将置于上料缓存区的晶圆盒精准地移载放置在上料等待区上,且贯穿通道的宽边中心线、水平固定架的宽边中心线、以及水平移动件的移动路线处于同一平面上,进一步确保晶圆盒移动、放置的精准性,省去操作员在上料等待区上多次调整的工序,便于上料且省时。当第一个晶圆盒经由驱动结构和移动托盘移载到上料等待区时,操作工可立马将第二个晶圆盒放置在上料缓存区上,可同时运行两个晶圆盒,节省操作员等待抓取结构移动至上料等待区内抓取晶圆盒的时间。
本实用新型一种晶圆移载结构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆移载结构,其特征在于:包括 一水平固定架,所述水平固定架顶端的长度两侧处分别设有上料缓存区与上料等待区,并在所述水平固定架中部设有一贯穿通道,且该贯穿通道的延伸方向与水平固定架的延伸方向一致; 一移动托盘,所述移动托盘顶端设有限位结构,用于限位夹持晶圆盒的底部; 一驱动结构,其设置在所述移动托盘的底端并与移动托盘连接,包括一升降件与一水平移动件,通过升降件驱动所述移动托盘在所述贯穿通道内上升托举晶圆盒脱离上料缓存区,或驱动所述移动托盘在所述贯穿通道内下降至晶圆盒完全置于上料缓存区或上料等待区上,通过水平移动件驱动所述移动托盘沿着所述水平固定架的延伸方向上移动; 所述贯穿通道的宽边中心线、水平固定架的宽边中心线、以及水平移动件的移动路线处于同一平面上。
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