成都腾六光电有限公司刘引获国家专利权
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龙图腾网获悉成都腾六光电有限公司申请的专利一种MPCVD微波谐振装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222990212U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422177587.5，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种MPCVD微波谐振装置是由刘引;张光;罗文波;何家玉设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MPCVD微波谐振装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MPCVD微波谐振装置，涉及微波谐振技术领域，包括第一圆柱形外壳以及位于第一圆柱形外壳内部的第二圆柱形外壳，所述第一圆柱形外壳和第二圆柱形外壳之间具有微波通道，所述第一圆柱形外壳顶部安装有微波发生器；所述第二圆柱形外壳的底部具有弧形腔体，所述弧形腔体中设置有弧形反射部件，所述第一圆柱形外壳的内部安装有驱动弧形反射部件高度调节用的升降组件，所述升降组件包括第一螺杆以及套于第一螺杆上的第一内螺纹套筒和第二内螺纹套筒，第一连杆、第二连杆和弧形反射部件，弧形反射部件的高度可变化从而进行微波调谐，可以根据实际情况，操作升降组件的具体结构来完成对弧形反射部件上下位移，以实现等离子体均匀分布。
本实用新型一种MPCVD微波谐振装置在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD微波谐振装置，其特征在于，包括第一圆柱形外壳1以及位于第一圆柱形外壳1内部的第二圆柱形外壳2，所述第一圆柱形外壳1和第二圆柱形外壳2之间具有微波通道3，所述第一圆柱形外壳1顶部安装有微波发生器4；所述第二圆柱形外壳2的底部具有弧形腔体，所述弧形腔体中设置有弧形反射部件11，所述第一圆柱形外壳1的内部安装有驱动弧形反射部件11高度调节用的升降组件； 所述升降组件包括第一螺杆7、第一内螺纹套筒6、第二内螺纹套筒8、第一连杆9和第二连杆10；所述第一螺杆7两端可转动连接在第一圆柱形外壳1内壁上，所述第一内螺纹套筒6和第二内螺纹套筒8套设在与之螺纹配合的第一螺杆7上，所述第一连杆9和第二连杆10底端通过同一铰座连接在弧形反射部件11上，所述第一连杆9的顶端铰接在第一内螺纹套筒6上，所述第二连杆10顶端铰接在第二内螺纹套筒8上。
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