丰豹智能科技(上海)有限公司叶文君获国家专利权
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龙图腾网获悉丰豹智能科技(上海)有限公司申请的专利一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222986640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422198132.1，技术领域涉及：B24B37/30；该实用新型一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头是由叶文君;冯宗华;夏雁宾;林栋利设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头，包括研磨头主体、转动轴、气压板、压力膜，所述气压板位于研磨头主体内部，气压板两端与研磨头主体内壁滑动连接，所述研磨头主体内壁上设有导向杆，所述研磨头主体两侧内壁开设有滑道，所述导向杆上下两端分别与滑道内壁固定连接，气压板与研磨头主体之间形成气室，气压板底部设有压力膜，压力膜边缘镶嵌薄金属垫圈，导向杆上下两端均设有限位组件，所述气压板两端通过滑块与导向杆滑动连接。本实用新型采用上述的一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头，压力膜不易被磨破，从而解决压力膜在研磨晶圆过程中因为不耐磨发生破损问题，降低生产成本。
本实用新型一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头在权利要求书中公布了：1.一种具有耐磨压力膜的晶圆研磨头，其特征在于：包括研磨头主体、转动轴、气压板、压力膜，所述气压板位于研磨头主体内部，气压板两端与研磨头主体内壁滑动连接，所述研磨头主体内壁上设有导向杆，所述研磨头主体两侧内壁开设有滑道，所述导向杆上下两端分别与滑道内壁固定连接，气压板与研磨头主体之间形成气室，气压板底部设有压力膜，压力膜边缘镶嵌薄金属垫圈，导向杆上下两端均设有限位组件，所述气压板两端通过滑块与导向杆滑动连接。
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