青岛华锦新材料科技发展有限公司郭全贵获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华锦新材料科技发展有限公司申请的专利一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222990279U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422209250.8,技术领域涉及:C30B23/00;该实用新型一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚是由郭全贵;李通;赵红超;宗绪伟;吕红波;郑瑞卿设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体的下端设有坩埚底,所述坩埚本体的上端设有坩埚盖,所述坩埚本体内壁固定连接有环形支撑框,所述坩埚本体的中部安装有涂层导流组件。通过坩埚本体、坩埚盖、坩埚底的组合式安装使坩埚的任何部位结构损坏或被碳化硅蒸气腐蚀超过一定程度时能够单独进行替换,同时涂层导流组件稳定导流部件内温度梯度和碳化硅蒸气流场,提高碳化硅长晶稳定性,并且涂层导流组件作为与碳化硅蒸气主要接触组件,有涂层的保护不会形成石墨烧失粉化,大幅减少碳化硅晶体大颗粒炭包裹,在涂层失效后,仅更换涂层导流组件延长其他组件使用寿命,降低组件更换成本。
本实用新型一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅单晶生长用新型组合式石墨坩埚,包括坩埚本体3,其特征在于,所述坩埚本体3的下端设有坩埚底2,且坩埚本体3下端延伸至坩埚底2中,所述坩埚本体3的上端设有坩埚盖1,且坩埚本体3上端延伸至坩埚盖1中,所述坩埚本体3内壁固定连接有环形支撑框4,所述坩埚本体3的中部安装有涂层导流组件5,且涂层导流组件5贯穿支撑框4中部。
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