上海探跃半导体设备有限公司覃建宁获国家专利权
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龙图腾网获悉上海探跃半导体设备有限公司申请的专利CCD摄像头替换装置及光刻机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222992569U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422324730.9,技术领域涉及:F16M11/04;该实用新型CCD摄像头替换装置及光刻机是由覃建宁;王晓军;陈峻峰设计研发完成,并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本CCD摄像头替换装置及光刻机在说明书摘要公布了:本实用新型属于光学机械技术领域,公开了一种CCD摄像头替换装置及光刻机。CCD摄像头替换装置包括安装底座、转动座、支架以及CCD摄像头,安装底座上设有安装槽,转动座设置于安装槽内且能够在安装槽内转动;支架设置于转动座上,支架和转动座能沿第一方向相对移动,CCD摄像头设置于支架上,CCD摄像头和支架能沿第二方向相对移动。以安装底座和转动座为基础,在转动座上安装支架并在支架上安装CCD摄像头,转动转动座调整CCD摄像头的角度,通过沿第一方向移动支架或沿第二方向移动CCD摄像头,能调整CCD摄像头和安装底座的相对位置,将更换后的CCD摄像头调整至达到对准要求,无需更换整个辅助对准单元,降低维修成本。
本实用新型CCD摄像头替换装置及光刻机在权利要求书中公布了:1.CCD摄像头替换装置,其特征在于,包括: 安装底座10,所述安装底座10上设有安装槽11; 转动座20,设置于所述安装槽11内且能够在所述安装槽11内转动; 支架30,设置于所述转动座20上,所述支架30和所述转动座20能够沿第一方向相对移动; CCD摄像头40,设置于所述支架30上,所述CCD摄像头40和所述支架30能够沿第二方向相对移动。
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