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北京中科科仪股份有限公司张晓磊获国家专利权

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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119361404B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411484753.4,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器是由张晓磊;张成龙;田贵宾设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器在说明书摘要公布了:本发明涉及扫描电镜技术领域,具体涉及一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器。包括:电路板;探头和栅网,所述探头和栅网均连接在电路板的端部,且所述栅网罩在所述探头的外侧;电路板插座,设置在所述电路板上远离所述探头的一侧,且所述电路板插接在所述电路板插座上;遮挡板,位于所述电路板插座上远离所述电路板的一侧,且遮挡板上远离所述电路板插座的一侧连接在扫描电镜的样品室侧壁上。可通过拧动调节螺钉来改变电路板插座和遮挡板之间的间隙,电路板插座与探头连接,遮挡板与扫描电镜的样品室连接,因此可调节探头和样品室的侧壁之间的距离,从而改变探头和物镜之间的距离,可调节探头和物镜之间的距离。

本发明授权一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器在权利要求书中公布了:1.一种扫描电镜用高信噪比的低真空二次电子探测器,其特征在于,包括: 电路板2; 探头1和栅网6,所述探头1和栅网6均连接在电路板2的端部,且所述栅网6罩在所述探头1的外侧; 电路板插座3,设置在所述电路板2上远离所述探头1的一侧,且所述电路板2插接在所述电路板插座3上; 遮挡板4,位于所述电路板插座3上远离所述电路板2的一侧,且遮挡板4上远离所述电路板插座3的一侧连接在扫描电镜的样品室侧壁上; 调节螺钉5,为两个,贯穿所述电路板插座3和遮挡板4; 还包括高压模块、高压电路、放大电路、滤波电路以及信号处理电路,所述高压电路适于调节高压模块对探头1的输出电压; 所述放大电路、滤波电路以及信号处理电路依次连接; 所述高压模块与栅网6连接,所述放大电路与探头1连接; 所述放大电路包括前置放大电路和主放大电路,所述前置放大电路的输入端与探头1连接; 其中,所述前置放大电路包括放大器U9和电阻R200,所述电阻R200的一端与放大器U9的反馈引脚连接,所述电阻R200的另一端为输入端; 所述前置放大电路还包括缓冲放大器,所述缓冲放大器的输入端与运算放大器U9的输出引脚连接; 所述主放大电路包括第一级放大电路和与之连接的第二级放大电路,其中,所述第一级放大电路包括第一反相比例运算电路,所述第一反相比例运算电路包括电阻R58、电阻R62以及放大器U17A,所述电阻R58为电阻R62的70—90倍,所述第二级放大电路包括第二反相比例运算电路,所述第二反相比例运算电路包括第二反馈回路、电阻R69以及放大器U4A,所述第二反馈回路包括模拟开关芯片U3、第二单片机以及八个阻值不同的反馈电阻,八个阻值不同的反馈电阻的一端分别与所述模拟开关芯片U3八个输入引脚连接,八个阻值不同的反馈电阻的另一端均连接在电阻R69和放大器U4A的反相输入端之间,所述模拟开关芯片U3的公共输出引脚与放大器U4A的输出端连接,所述第二单片机与所述模拟开关芯片U3的三个地址引脚连接,所述模拟开关芯片U3基于第二单片机确定的地址选择对应的反馈电阻接入第二反馈回路。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京中科科仪股份有限公司,其通讯地址为:100190 北京市海淀区中关村北二条13号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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