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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利基板支架、基板处理装置及成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115874157B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211706317.8，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权基板支架、基板处理装置及成膜装置是由生长秀隆;熊木智洋;阿部大和;渡部新设计研发完成，并于2018-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板支架、基板处理装置及成膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够抑制基板的破损发生地保持基板的基板支架。基板支架30使基板2的被处理区域21a露出地保持基板2，其特征在于，具备：夹持部310、320，所述夹持部310、320与基板2的角部24不接触地夹持基板2的两面21、22；及触抵部30，所述触抵部30与基板2的角部不接触地触抵于基板2的端面23。

本发明授权基板支架、基板处理装置及成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种基板支架，所述基板支架保持基板，所述基板具有包括被处理区域的第一主面、与所述第一主面相反的一侧的第二主面、以及连结所述第一主面和所述第二主面的端面，其特征在于，具备：第一框体，所述第一框体具有使所述被处理区域露出的开口；及第二框体，所述第二框体通过紧固机构紧固于所述第一框体，所述第一框体具有第一抵接部，所述第一抵接部与所述第一主面的所述被处理区域的外侧的周缘区域抵接，是在所述第一框体中沿着与所述第二框体相向的相向方向突出的凸状部，并在所述第一框体的与所述第二框体相向的相向部形成为环状，所述第二框体具有第二抵接部和第三抵接部，所述第二抵接部与所述第二主面的对应于所述周缘区域的位置抵接，是在所述第二框体中沿着与所述第一框体相向的相向方向突出的凸状部，并在所述第二框体的与所述第一框体相向的相向部形成为环状，所述第三抵接部与所述端面抵接，所述第一抵接部、所述第二抵接部以及所述第三抵接部以所述第一主面和所述端面所成的第一角以及所述第二主面和所述端面所成的第二角分别从所述第一框体以及所述第二框体的任一个均分离的方式保持所述基板，所述第一抵接部在从所述第一角向内侧离开的位置与所述第一主面抵接，所述第二抵接部在从所述第二角向内侧离开的位置与所述第二主面抵接，所述第三抵接部在从所述第一角以及所述第二角分别向内侧离开的位置与所述端面抵接。

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