盛合晶微半导体(江阴)有限公司王敏捷获国家专利权

本实用新型提供一种顶针装置，包括：针盘组件、顶针底座、第一限位结构以及第二限位结构；针盘组件包括针盘以及多个顶针；各顶针均嵌入针盘并自针盘的上表面露出...

2026-01-26来源：龙图腾网

友上智能科技(苏州)有限公司王致壬获国家专利权

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种应用于硅片翻面的翻转机构。其包括设备壳体、设置在所述设备壳体平台上的转动单元、置于所述设备壳体内且置于所述...

2026-01-26来源：龙图腾网

东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张之光获国家专利权

本实用新型涉及半导体设备领域，特别是涉及一种晶圆升降装置和具有其的电子束检测设备。本实用新型旨在解决现有晶圆升降装置易出现滑动卡顿、升降速度过慢、传输...

2026-01-26来源：龙图腾网

芯禾科技(江苏)有限公司秦铭洲获国家专利权

本实用新型公开了一种用于加热的静电卡盘机构，涉及静电卡盘领域，包括基座，所述基座的顶部固定连接有定位柱，所述基座的顶部固定连接有螺纹杆，所述定位柱的外...

2026-01-26来源：龙图腾网

合肥晶威特电子有限责任公司吴涛获国家专利权

本实用新型公开了一种植球机对wafer残片植球的快速定位结构，包括安装板，所述安装板中部开设有中空槽，安装板中部对应中空槽的位置设置有水平条；所述水平...

2026-01-26来源：龙图腾网

天津雅闻菲德自动化技术有限公司夏利文获国家专利权

本实用新型涉及SMCF封装技术领域，且公开了一种SMCF封装用自动定位装置，包括支撑底座，所述支撑底座的上表面中部固定连接有SMCF封装基座，所述SM...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海星纳电子科技有限公司李福荣获国家专利权

本实用新型公开了一种晶圆片移动装置，包括：测量组件、操作台和移动组件；所述测量组件包括：上探头和下探头；所述上探头和下探头相对设置，所述操作台对应下探...

2026-01-26来源：龙图腾网

吉光半导体(绍兴)有限公司陈小军获国家专利权

本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种吸附装置及传输系统。所述吸附装置包括第一吸附单元和第二吸附单元；所述第一吸附单元具有第一真空流道，所述第一...

2026-01-26来源：龙图腾网

通威太阳能(成都)有限公司魏志阳获国家专利权

本申请公开了一种花篮放反还原装置，应用于花篮输送产线，包括：第一定位板，其上固设有多个第一限位柱；第二定位板，与第一定位板相对间隔设置，设置于花篮输送...

2026-01-26来源：龙图腾网

天合光能股份有限公司池军获国家专利权

本实用新型涉及光伏产品加工技术领域，具体提供一种光伏产品加工设备，旨在解决现有技术中光伏产品在移动至加工位置的过程中容易被损坏的问题。为此目的，本实用...

2026-01-26来源：龙图腾网

天合光能股份有限公司赵东获国家专利权

本申请涉及光伏组件加工技术领域，具体提供一种电池片上料装置，旨在解决盛放电池片的花篮在上料过程中因逆向移动而从输送轨道掉落的问题。为此目的，本申请的电...

2026-01-26来源：龙图腾网

通威太阳能(成都)有限公司张强获国家专利权

本申请涉及硅片传输装置，包括上滚轮件，包括第一轴心部以及套设于第一轴心部的第一轴套部，第一轴套部和第一轴心部之间具有间隙，第一轴套部能相对于第一轴心部...

2026-01-26来源：龙图腾网

芯恩(青岛)集成电路有限公司张永盛获国家专利权

本实用新型提供一种OHT异常处理工具，其中卡槽位于支撑板的上边缘，升降孔在支撑板内沿第一方向上下贯穿支撑板，传动孔垂直于支撑板所在的第一平面，第一方向...

2026-01-26来源：龙图腾网

至微半导体(上海)有限公司朱良康获国家专利权

本实用新型提供一种湿进湿出和干出切换的传送系统和晶圆清洗系统，晶圆湿进子系统和晶圆湿出干出子系统均和模式切换子系统连接；晶圆湿出干出子系统包括晶圆湿出...

2026-01-26来源：龙图腾网

力集泓光电科技(南通)有限公司黎弈夆获国家专利权

本实用新型涉及一种晶圆清洗机。包括一箱体，两个水洗槽，两个酸洗槽，两个震荡清洗结构，本结构中，通过箱体上的通道实现花篮的上料与下料，无需在箱体内部设置...

2026-01-26来源：龙图腾网

盛合晶微半导体(江阴)有限公司杨长宝获国家专利权

本实用新型提供一种晶圆盒挂架和晶圆盒清洗系统：通过设计了具有长方体形状的第一收纳槽，本实用新型使得晶圆盒挂架可以收纳cassette型晶圆盒；通过增加...

2026-01-26来源：龙图腾网

江苏芯德半导体科技股份有限公司王祯亮获国家专利权

本发明提供一种针对Tray盘自动感应固定的Tray盘底座，属于芯片封装技术领域，Tray盘底座的上表面向内凹陷形成若干第一凹槽和第二凹槽，每一个第一凹...

2026-01-26来源：龙图腾网

声达半导体设备(江苏)有限公司陈宏获国家专利权

本申请公开了一种可调工装篮，包括框架，框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间，框架内前后对称设有一对支撑板，容纳空间内设有移动挡板，支撑板的顶面凹设有横槽...

2026-01-26来源：龙图腾网

昆山日月同芯半导体有限公司李斌获国家专利权

本实用新型涉及晶圆保护技术领域，具体为一种用于晶圆检查的保护片盒，包括：片盒底盖，片盒底盖整体呈圆柱体结构，片盒底盖内壁表面设置有支撑架；片盒上盖，片...

2026-01-26来源：龙图腾网

芯恩(青岛)集成电路有限公司张锡亮获国家专利权

本申请提供了一种清扫装置及半导体生产设备，其中，清扫装置包括清扫机构和净化机构，清扫机构包括进气喷嘴和排气喷嘴，进气喷嘴用于向晶圆存放装置内注入氮气，...

2026-01-26来源：龙图腾网

山东精诚志芯半导体有限公司胡修稳获国家专利权

本实用新型公开了一种避免污染气体残留腐蚀基板的半导体元件制造机构，包括上部壳体组件、下部壳体组件、元件放置组件、氮气供应组件、废气排出组件，氮气供应组...

2026-01-26来源：龙图腾网

吉林华微电子股份有限公司于越获国家专利权

本申请提供一种扩散炉，扩散炉包括扩散炉本体以及由扩散炉本体围合形成的容置空间、散流组件、支撑舟及挡板组件，扩散炉本体包括相对设置的进气端和出气端。散流...

2026-01-26来源：龙图腾网

无锡广芯封装基板有限公司单海丹获国家专利权

本实用新型公开了一种自动化植球设备及封装基板，自动化植球设备包括支撑座、供球装置、植球装置和定位装置。其中，植球装置在吸球状态和放球状态之间切换，供球...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海浚洁半导体科技有限公司李凤娟获国家专利权

本实用新型提供一种半导体芯片封装装置，包括底座，所述底座的顶部架设有下模，所述下模的顶部均匀设置有至少两个模槽，所述下模上设置有与所述模槽相配合的脱模...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海普达特半导体设备有限公司杭明光获国家专利权

本实用新型提供一种晶圆清洗装置，属于半导体设备领域，通过加热件的设置，可有效对供液件进行加热，有效防止氟化铵结晶的形成；温度探测件及控制器的设置，可实...

2026-01-26来源：龙图腾网

盛合晶微半导体(江阴)有限公司高远获国家专利权

本实用新型涉及一种优化高膜厚表面均匀性的晶圆软烤处理装置，包括壳体、加热盘、顶盖、及若干个进气孔，顶盖位于壳体的顶部，顶盖设有抽气口；加热盘位于壳体内...

2026-01-26来源：龙图腾网

上欧科技(湖州)有限公司周鹏获国家专利权

一种晶圆承载和检测触发平台，它涉及半导体晶圆加工技术领域。本实用新型解决了现有的晶圆检测设备存在检测时间长，检测效率低，设备价格昂贵，无法在当前工艺站...

2026-01-26来源：龙图腾网

无锡邑文微电子科技股份有限公司娄俊飞获国家专利权

本实用新型公开了一种ICP去胶设备，属于半导体技术领域。ICP去胶设备包括工艺腔体、筛板组件、气源和气体通道，气源设于气体通道的进气端，气体通道的出气...

2026-01-26来源：龙图腾网

天合光能股份有限公司齐金柱获国家专利权

本实用新型涉及电池生产设备，具体提供一种改善监控水膜装置，旨在解决现有技术中水膜装置依靠水膜阀处流量计感应出水量，水膜阀损坏时无法正常监控出水的问题。...

2026-01-26来源：龙图腾网

芯恩(青岛)集成电路有限公司张珂获国家专利权

本实用新型提供一种半导体工艺装置，其中光学平整度检测结构得到机械臂的表面形貌信息；控制单元控制光学平整度检测结构的工作状态；分析判断单元接收并分析表面...

2026-01-26来源：龙图腾网

盛合晶微半导体(江阴)有限公司韩刚获国家专利权

本实用新型提供一种晶圆清洗装置，本实用新型的晶圆清洗装置包括清洗腔、储液罐、真空装置、喷液装置和排液槽。清洗腔具有相对设置的顶部、底部和连接顶部和所述...

2026-01-26来源：龙图腾网

昆山日月同芯半导体有限公司崔晓建获国家专利权

本实用新型公开了一种半导体晶圆清洗装置，应用在清洗装置领域，包括清洗仓，所述清洗仓的一侧固定连接有连接板；本实用新型通过设置驱动电机、螺纹杆、螺纹盘、...

2026-01-26来源：龙图腾网

东莞忆联信息系统有限公司尹志强获国家专利权

本实用新型实施例公开了一种基板自动清洁装置及设备，包括：机架、清洁组件、传送组件和驱动机构，所述驱动机构位于所述机架的一侧，所述传送组件位于所述机架上...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海积塔半导体有限公司徐雷获国家专利权

本实用新型提供了一种用于半导体工艺的腔体结构，包括卡盘、金属管、盖板和感应开关。所述卡盘用于固定晶圆；所述金属管悬空设置于所述卡盘上方，所述金属管的一...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海积塔半导体有限公司王超莹获国家专利权

本申请涉及一种晶圆加热装置及半导体设备，用于承载晶圆并对其加热；该晶圆加热装置包括加热盘和加热电缆；加热盘的上表面用于承载晶圆，下表面具有螺旋盘绕的电...

2026-01-26来源：龙图腾网

晶澳(扬州)太阳能科技有限公司张志伟获国家专利权

本实用新型提供了一种刻蚀设备，涉及光伏技术领域，以解决光伏电池制造工艺繁琐的技术问题。该刻蚀设备包括传送装置和供液装置，供液装置包括相对的第一供液件和...

2026-01-26来源：龙图腾网

江苏集萃应用光谱技术研究所有限公司赵光宇获国家专利权

本实用新型是一种掩模版盒翻转机构，包括：转动电机；旋转连接板，其与转动电机的转动端连接；翻转框，其底部与旋转连接板长度方向一侧边铰接；延伸座，其固定在...

2026-01-26来源：龙图腾网

北京北方华创微电子装备有限公司柯伟东获国家专利权

本申请实施例提供了一种半导体工艺腔室和半导体工艺设备，其中，所述半导体工艺腔室包括：腔体、工艺盘、基座、第一抵挡件和第二抵挡件；所述腔体设有容置腔，所...

2026-01-26来源：龙图腾网

江苏先导微电子科技有限公司轩苏兵获国家专利权

本申请公开了一种新型晶圆吹扫盘及装置，涉及半导体制造技术领域，其中新型晶圆吹扫盘，包括吹扫盘本体；吹扫盘本体内设有进气腔道、中心吹扫腔以及多个环形腔道...

2026-01-26来源：龙图腾网

至微半导体(上海)有限公司陈军宇获国家专利权

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及一种晶圆清洗装置。包括升降机构和清洗机构，升降机构可控制地沿靠近或远离清洗机构的方向升降运动，升降机构包括，升...

2026-01-26来源：龙图腾网

广州诺顶智能科技有限公司邹巍获国家专利权

本实用新型涉及一种共晶加热装置。本实用新型所述的一种共晶加热装置包括：支撑梁设置有真空气管，所述支撑梁在所述高度方向的一侧为滑动面，所述滑动面用于供基...

2026-01-26来源：龙图腾网

苏州浦丰鑫电子科技有限公司周伟获国家专利权

本实用新型涉及芯片加工技术领域公开了一种晶圆贴片装置，包括底座，所述底座上部固定有多个放置板，所述底座内部设置有移动装置，所述移动装置上部转动连接有贴...

2026-01-26来源：龙图腾网

浙江创芯集成电路有限公司史晓明获国家专利权

本公开实施例提供了一种晶圆刻蚀装置，其中，晶圆刻蚀装置包括：腔体，所述腔体具有腔室以及维护端口，所述维护端口与所述腔室连通，用于为维护工具进出所述腔室...

2026-01-26来源：龙图腾网

至微半导体(上海)有限公司季恺获国家专利权

本实用新型提供一种双套管鼓泡结构和晶圆清洗装置，包括主管和双层鼓泡管，双层鼓泡管包括内管和外管，内管嵌于外管内部，内管和外管之间具有空隙；主管连接内管...

2026-01-26来源：龙图腾网

浙江创芯集成电路有限公司宋喆宏获国家专利权

本申请实施例提供一种半导体加热脱气装置，所述加热脱气装置包括：用于对晶圆加热脱气的腔室；加热单元，固设于所述腔室内，用于在对所述晶圆脱气时提供热量；载...

2026-01-26来源：龙图腾网

上海磊尚智能科技有限公司洪平获国家专利权

本实用新型公开了一种加热板、压块、真空腔室及键合设备，加热板包括底板，底板的其中一个侧面设有若干个加热区块，若干个加热区块围绕底板的中心周向布设，每个...

2026-01-26来源：龙图腾网

鹏南科技(厦门)有限公司陈天顺获国家专利权

本实用新型提供了一种双面金属化的微型氮化铝制冷片和制冷模组，该制冷片包括冷面陶瓷片、热面陶瓷片、半导体制冷NP元件，冷面陶瓷片和热面陶瓷片的材质为氮化...

2026-01-26来源：龙图腾网

声动微科技(常州)有限公司请求不公布姓名获国家专利权

本实用新型提供了一种晶圆级封装热电堆红外阵列芯片，包括：器件晶圆，所述器件晶圆表面包括至少一个热电堆芯片；所述器件晶圆的正面覆盖的一封装层；在所述器件...

2026-01-26来源：龙图腾网

艾泰斯热系统研发(上海)有限公司李霖峰获国家专利权

本实用新型涉及半导体制冷片制造技术领域，尤其涉及一种半导体制冷片用液冷散热装置。该半导体制冷片用液冷散热装置包括箱体、导热板和导热翅片。其中，箱体内设...

2026-01-26来源：龙图腾网

固安翌光科技有限公司董艳波获国家专利权

本实用新型适用于半导体技术领域，提供了一种发光面板的半成品。该发光面板的半成品包括：基板，基板的表面设置有呈阵列排布的多个屏体区；屏体区包括第一子屏体...

2026-01-26来源：龙图腾网